由低于大氣壓的氣體所充滿的空間被稱為真空。真空有不同的程度:從大氣壓到百分之一氣壓的狀態(tài)被稱為低真空,到百萬(wàn)分之一的被稱為中真空,到一百億分之一的被稱為高真空,到十兆分之一的被稱為超高真空,低于十兆分之一的被稱為極高真空狀態(tài)。

到達(dá)各種真空狀態(tài)需要各種排氣泵的組合,達(dá)到中真空狀態(tài)可利用轉(zhuǎn)輪泵等機(jī)械泵,到達(dá)中真空狀態(tài)以上需要另外使用分子泵,油擴(kuò)散泵,低溫泵或離子泵等。根據(jù)所需的真空狀態(tài),各種排氣泵可適當(dāng)組合。